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电子特气负压存储钢瓶

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简要描述:安储科技开发的电子特气负压存储钢瓶内装多孔材料,具有高比表面积,有着很高的吸附能力,储存稳定安全,不会影响气体纯度,释放量高。可以用在半导体离子注入等设备工艺。

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2025-01-20

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安储科技开发的电子特气负压存储钢瓶内装多孔材料,具有高比表面积,对磷烷(PH3)和砷烷(AsH3)三氟化硼(BF3),四氟化锗(GeF4)等电子特气有着很高的吸附能力,储存稳定安全,不会影响气体纯度,释放量高。可以用在半导体离子注入等设备工艺。


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