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抛光液

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抛光液

简要描述:ACTL-WS系列抛光液是一种高效的碳化硅衬底表面抛光产品,具有较高的材料去除率的同时可获得低表面粗糙度,低缺陷晶圆表面。且抛光液可循环使用,降低客户使用成本。

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发布时间

2025-01-20

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详细介绍

碳化硅衬底由于硬度高, 脆性大等特点, 给抛光带来了极大的难度。安储科技开发了一系列碳化硅衬底抛光液, 包括:碱性粗抛液酸性粗抛液、碱性精抛液,安储科技抛光液具有抛光效率高, 循环次数多,抛光后表面粗糙度低的优点。 


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